1 ?目的
為使高精度厚度測定儀在兩次校準的有效期內(nèi)，高精度厚度測定儀的關(guān)鍵量值維持良好的置信度，特制定本規(guī)程。
2 范圍
適用于技術(shù)中心高精度厚度測定儀的期間核查。
3 職責(zé)
3.1設(shè)備管理員根據(jù)設(shè)備期間核查計劃組織相關(guān)責(zé)任人對高精度厚度測定儀進行期間核查。
3.2技術(shù)負責(zé)人監(jiān)督審核高精度厚度測定儀期間核查，并負責(zé)組織處理核查發(fā)現(xiàn)的不符合項目。
3.3資料管理員負責(zé)高精度厚度測定儀核查記錄的歸檔。
4 作業(yè)內(nèi)容
判定依據(jù)與期間核查周期，核查項目及其技術(shù)要求
4.1判定依據(jù)與期間核查周期
本期間核查參考《高精度厚度測定儀操作規(guī)程》制定，并以此為判定依據(jù)。核查內(nèi)容覆蓋大部分檢定規(guī)程要求。核查頻率每年一次，時間為兩次校準之間。
4.2高精度厚度測定儀應(yīng)在室溫10℃—30℃，相對濕度不大于85%的環(huán)境條件下進行檢定。
厚度計的校準
A1受壓測量面的平整性
仔細擦凈受壓測量面表面,并使他們稍微離開一些,對著明亮的光線能看到縫隙。當(dāng)從兩個相互垂直的方向觀察測量面時,該縫隙應(yīng)是很均勻的。
A2施加于測面的壓力
任何適宜于校準施加壓力精確度和均勻性的方法都可以使用。
A3厚度塊規(guī)
厚度值相當(dāng)于厚度計全量程的10%、30%、50%、70%和90%的專用或標準塊規(guī),每個塊規(guī)的厚度誤差不應(yīng)超過±1 um。
A4測量示值的重復(fù)性誤差和示值誤差
- 技術(shù)參數(shù)：≤0.5mm，±0.0025mm ; >0.5mm，±0.5%
- 使用儀器和工具：厚度塊規(guī)
（3） 核查方法：
A4.1當(dāng)兩個受壓測量面相互接觸時,厚度計的讀數(shù)應(yīng)為零,在隨后的測量過程中不應(yīng)重調(diào)零點。
A4.2張開兩個受壓測量面的縫隙﹐然后重新讓其相互接觸上(見9.4),記錄厚度計的讀數(shù),重復(fù)這步驟至少五次。
A4.3取–塊符合A3規(guī)定的厚度塊規(guī),置于兩測量面之間,然后將測量面緊靠在塊規(guī)上﹐記錄厚度計的讀數(shù),重復(fù)這一步驟至少五次。
A4.4 將其余塊規(guī)逐一置于兩測量面間,重復(fù)A4.3的操作步驟。
注:塊規(guī)應(yīng)單個使用,不能組合使用。
A4.5重復(fù)A4.2的操作步驟。
A4.6在厚度計上讀取每一塊規(guī)的測定數(shù)值并計算。
a）測量示值的重復(fù)性誤差即五個或更多個讀數(shù)的標準偏差﹔
b)示值誤差即五個或更多個讀數(shù)的平均值與厚度塊規(guī)之間的差值。
（4）判定標準
計算出的測量示值的重復(fù)性誤差和示值誤差≤0.5mm，±0.0025mm ; >0.5mm，±0.5%之間，則判定測量示值的重復(fù)性誤差和示值誤差合格。
A5受壓測量面的平行度
- 技術(shù)參數(shù)：≤0.002mm
- 使用儀器和工具：厚度塊規(guī)
- 核查方法：
A5.1將A3規(guī)定的厚度塊規(guī)放入兩個測量面間,并盡量使之接近一側(cè)的邊緣。然后將測量面緊靠塊規(guī),記錄厚度計的讀數(shù)。
A5.2將同一塊規(guī)置于兩測量面間,盡量使之接近與A5.1正好相對的邊緣。然后將測量面緊靠塊規(guī)再次記錄厚度計的讀數(shù)。
A5.3在垂直通過A5.1和A5.2測量點的直徑邊緣上,重復(fù)A5.1和A5.2的操作步驟。A5.4將其余厚度塊規(guī)逐一重復(fù)A5.1、A5.2和A5.3的操作步驟。
注:厚度塊規(guī)應(yīng)單個使用,不能組合使用。 - 判定標準
計算出的受壓測量面的平行度0.002mm之間，則判定受壓測量面的平行度合格。
A6．厚度儀接觸壓力
- 技術(shù)參數(shù)：（100±10）kpa
- 使用儀器和工具：壓力傳感器或20N砝碼
- 核查方法
先把儀器傳感器和測量頭拆下，平放開機，采用壓力器或20N砝碼進行校對
注：拆下傳感器再安裝需要調(diào)整平衡度，此步驟一般由廠家或第三方計量部門專業(yè)人員操作！
判定標準
- 計算出的厚度儀接觸壓力在（100±10）kpa之間，則判定接觸壓力合格。
5 期間核查結(jié)果
以上核查結(jié)果，應(yīng)填寫設(shè)備核查記錄表，于年底統(tǒng)一歸檔。在期間核查過程中若發(fā)現(xiàn)儀器工作不正常或評定指標未能達到技術(shù)要求，應(yīng)及時通知技術(shù)負責(zé)人，由技術(shù)負責(zé)人組織處理核查發(fā)現(xiàn)的不符合項目，并組織設(shè)備管理員送檢，維修后的儀器經(jīng)檢查或檢定達到技術(shù)性能要求后方能投入使用。
6 相關(guān)表單
6.1《儀器設(shè)備期間核查記錄》